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跟踪精度方面，截至2026年3月2日，半导体设备ETF易方达近1月跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度较高。

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这种靠“节流”而非“开源”换来的扭亏，其可持续性天然存疑，自然无法获得资本市场的认可。